● 無差分泵Z方向旋轉(zhuǎn)，確保在旋轉(zhuǎn)過程中不漏氣
● 樣品可連續(xù)旋轉(zhuǎn)，保證薄膜生長(zhǎng)的均勻性;轉(zhuǎn)動(dòng)速度1-30 rpm可調(diào)
● Z軸運(yùn)動(dòng)低阻尼設(shè)計(jì)，使用更省力穩(wěn)定
● 采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，保證每軸運(yùn)動(dòng)的直線度，無偏擺，俯仰
● 可選Z軸恒力彈簧，消除外界壓力，使操作流暢
● 測(cè)微頭驅(qū)動(dòng)，定量讀數(shù)，達(dá)到高的調(diào)整精度
五軸晶圓樣品操作臺(tái)（Wafer Manipulator）
