蒸發鍍膜涉及到的相變固-氣相變：即升華。在這一過程中，源材料從固態直接轉變為氣態，而不經歷液態。這需要足夠的能量的才能發生的，一般用加熱的方式可以實現。氣-固相變：即冷凝，升華的逆過程。當蒸發出的氣態物質遇到冷卻的襯底時，它們會凝結在其上，形成固態的薄膜。這是一個從氣態到固態的相變過程。

什么是蒸汽壓？固態或液態均有蒸汽壓，本文只討論固態的蒸汽壓。微觀上來說，當某固體在密閉容器中蒸發成氣體時，分子無法逃逸。一些氣體分子終會撞擊凝聚相并凝結回其中。當氣體的冷凝速率變得等于固體的蒸發速率時，氣體，固體的量不再改變。容器中的氣體與固體處于平衡狀態。此時的氣態的壓力就叫做蒸汽壓。

宏觀來說，蒸汽壓描述了一個物質在特定的溫度下轉變為氣態的能力。一個物質的蒸汽壓越高，它們的分子更容易擺脫分子間吸引力而進入氣相，意味著它在較低的溫度下就更容易蒸發。蒸發鍍膜與蒸汽壓的關系對于蒸發過程，材料應該在可實現的加熱范圍內具有足夠的蒸汽壓，使得它能夠蒸發并在襯底上形成均勻的薄膜。蒸汽壓應該足夠高，以便在合理的時間內完成蒸發過程。但是也不能太高，以免造成蒸發速率過快難以控制。